PVD真空镀膜具体操作请参考设备说明书、真空镀膜机仪表板上的指针显示和每个旋钮下的说明。 ①检查真空镀膜设备各操作控制开关是否处于"关”位置。 打开主电源开关,接通真空镀膜设备电源。 拔出低压阀。打开充气阀后,听不到气流声,启动钟罩阀,钟罩上升。 (4)安装固定钨丝螺旋加热器。PVDF膜和铝盖板固定在转盘上。铝线穿过螺旋加热器。清洗钟罩的所有部件,确保无杂质和 污物。 放下钟罩。 ⑥启动真空镀膜设备的真空泵。 ⑦开放式复合真空计电源(复合真空计型号:FZH-1A)。 A.顺时针旋转左侧旋钮“1”至指向第二节的加热:位置。 B.低真空表"2”.上的指针顺时针移动。当指针移动到110mA时,左侧旋钮“1"旋转到指向第二节的测量位置。 当低真空表“2”上的指针再次顺时针移动到6.7PA时,将低压阀推入。然后将左侧旋钮“1"旋转到指向1段的测量位置。 ⑨打开真空镀膜设备的冷却水,启动扩散泵,加热40min. 低压阀拔出。重复⑦动作步骤:将左下旋钮“1"旋转到指向2段的测量位置。低真空表"2”.上的指针顺时针移动。当指针 移至6.7Pa时,打开高压阀(阀杆顺时针旋转)。 一：首先为大家介绍一下电控柜的操作，每款设备操作都是有流程的，任何一步都不能遗漏。

（1）首先开水泵、气源。（2）接着开总电源。（3）开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。（4）开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。（5）观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 二：DEF-6B电子枪电源柜的操作，（1）打开总电源。（2）同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。（3）开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。